来?了!
众人振奋!
一组报告:“二氧化碳脉冲激光器无损,功率消耗在预估范围内,光线利用率成功达到2%!”
二组报告:“散热系统启动!散热功正常!”
三组报告:“传感器反馈激光和液滴?步对准,激光等离子体?在预估范围内捕获!”
组报告……
随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中,预示着光源系统设备实验验收圆满完成!
众人憋着一气没声,就等着盛明安总结。
盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣布:“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提高音量,“我?的科研项目,激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”
“13.5nm!”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐渐放大,呼吸急促,不敢置信,纷纷以为?己的耳朵坏了,他现?了幻听。
盛明安语气里流泻轻松的笑意:“恭喜大家。”
见众人没反应,他回头,疑惑:“你不满意吗?”
林成建也懵了,小心翼翼地询问:“盛工,你刚才13.5nm……不是16nm?”
?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔:“比asml euv的14nm还精确了0.5nm?”
杜颂捂着心脏,喃喃道:“不是吧……我?整天研究的就是这?牛逼的玩意?”
助理姑娘掐得更?狠了,但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经以抚平身?体?的疼痛。
“啊,”盛明安意识看向陈惊璆:“你都有异议吗?”
陈惊璆惊讶过后便是一笑:“没有异议。他惊喜过头了。”
盛明安又?看向林成建等人,谁知他面面相觑,陷入沉默,一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——!!!”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备,热爱实验室设备的盛明安就该拉脸,而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人去了。
但无伤大雅的此刻,他纵容每一个团队成员尽情?放纵无以言表的兴奋和激动。
第70章 山巍[02] 挽狂澜!
光源系统设备验收阶段圆满完成,接来就是高阶光刻机的组装。
除了光源系统、双工作台系统和光学系统,余零件所需还有更精确的镜头组、反射镜,以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发来。
但这都不是问题。
因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩的arf光刻胶等技术要求很高,相对来说,难度系数不是特别大。
林成建也很兴